羅升橫河直線電機(jī)-DD馬達(dá)平臺在晶圓激光切割機(jī)的應(yīng)用

羅升與橫河電機(jī)技術(shù)合作開發(fā)的DD（Direct Drive）馬達(dá)平臺，是一種高精度、高性能的直線電機(jī)系統(tǒng)。在半導(dǎo)體行業(yè)中，DD馬達(dá)因其直接驅(qū)動特性被廣泛應(yīng)用在晶圓激光切割機(jī)上。 DD馬達(dá)作為一種直接將電能轉(zhuǎn)化為線性運(yùn)動的執(zhí)行器，其優(yōu)勢在于具有極高的定位精度（通常達(dá)到微米級或納米級）、響應(yīng)速度快、運(yùn)行平穩(wěn)以及結(jié)構(gòu)簡單、維護(hù)成本低等優(yōu)點(diǎn)。在晶圓激光切割機(jī)中，DD馬達(dá)作為關(guān)鍵的伺服控制系統(tǒng)組成部分，能夠精確控制激光頭沿著預(yù)定路徑移動，實(shí)現(xiàn)對硅片表面進(jìn)行高效、高質(zhì)量的連續(xù)切割作業(yè)。 具體應(yīng)用時，DD馬達(dá)通過與橫河電機(jī)先進(jìn)的控制器配合，可以實(shí)時監(jiān)測并調(diào)整切割過程中馬達(dá)的速度和位置，確保激光焦點(diǎn)穩(wěn)定，切割軌跡一致，從而大大提高生產(chǎn)效率和切割質(zhì)量，對于保證晶圓制造過程中的良率至關(guān)重要。因此，羅升橫河直線電機(jī)-DD馬達(dá)平臺在晶圓激光切割機(jī)領(lǐng)域的應(yīng)用得到了廣泛的認(rèn)可和好評。